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英國真尚有ZNXsensor高精度納米位移傳感器是通過改變電容兩極板間的電荷實現測量的。常用的方法有三種：變極板間距離的變極距型；改變極板面積的變面積型；還有就是改變介質介電常數的變介質型。現在所介紹的是變極距型的高精度納米位移傳感器。
ZNXsensor高精度納米位移傳感器應用領域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。
該高精度納米位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。
ZNXsensor高精度納米位移傳感器主要特點：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滯；
線性最高0.02%；
頻帶可調：50～5000Hz；靈敏度可調；
真空兼容選項；
技術規格：
傳感器型號 | ZNXA | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | - | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | - | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | - | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | - | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | - | <0.08 | <0.03 | <0.06 |
大量程μm | 50 | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 5 | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.08 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 2.2 | 4.4 | 22 | 55 |
線性度% | <0.08 | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
頻響Hz | 50/500/5000 | |||
控制器型號 | NS2000 | NM2110 | S2000和NS模塊 | NM3330 |
傳感器通道最大個數 | 1 | 1 | 14 | 3 |
供電 | ±15V，70mA | 90～130V或220～260V | 90～110V或110～130V或220～260V | 90～260V |
模擬輸出V | ±5 | ±5 | ±5 |
|
數字輸出 |
|
| 16位(可選) | 7位浮點數 |
頻響KHz | 5 | 5 | 5 | 12.5 |
◆我們保留規格變化而不另行通知的權利。
